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表面/截面/断口形貌观察、颗粒尺寸、纳米粒子形貌观察、表面粗糙度测试、涂/镀层厚度等。

热性能测试

测试聚合物、有机物及无机物的热分解，有机物含量，无机物含量、膨胀系数、相转变温度、应力-应变曲线等。

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pH、粘度、粒径、比表面积、表面张力、孔隙率、接触角、Zeta电位、水分、羟值、酸值、白度、色度、异氰酸根含量、密度、比旋光度、折光率、熔融指数等。

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常规金属元素、重金属元素、贵金属元素、稀土元素、非金属元素、卤素 、阴阳离子、同位素测试等。

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分子量及其分布、粘均分子量、低分辨质谱谱图、高分辨质谱图、MALDI-TOF-MS质谱图等。

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外观、水分、pH值、纯度、色度、粒度、灼烧残渣、澄清度试验、氯化物、硫酸盐、铁、砷、铜、铅元素含量等。

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科学研究测试

服务于科研院所，高校实验室等技术创新研发，对样品进行特殊需求测试，微谱的齐备大型仪器联合使用，满足个性化需求。

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未知物定性定量

快速确定未知产物的成分含量，元素定性定量，推荐生产技术调整方案，轻松解决产品未知风险。

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性能检测

检测样品各种性能，确定是否达标，并提供性能改进技术支持，协助企业生产出更高水准的产品，顺利上市销售。

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方法开发与验证

为客户定制方法开发项目方案，综合仪器性能进行专业化、个性化方法开发与优化，根据标准方法进行一系列数据验证。

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微谱专业标准化测试服务

10余年服务经验 用数据证实

多领域企业客户合作经验，成就微谱高质量高标准服务水准

1100+套

大型精密仪器

近3000人

专业工程师团队

20+个

城市服务网点

100万多条

谱图数据库

8万多平米

实验室及办公面积

· 资质证书齐备

· 自建标准实验室

· 技术服务硬实力

· 拥有内部研发团队

· 经验丰富周期短

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已有90000多家国内外客户与微谱合作

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*上述内容中提及的资质、荣誉等相关数据来源：上海微谱检测科技集团股份有限公司及其子公司、分公司。

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icp许可证办理需要什么材料 

ICP许可证办理需要什么材料。 

ICP许可证是指互联网内容提供者的经营许可证，是指互联网信息服务提供者依法从事信息服务活动的准入许可证。根据《中华人民共和国互联网信息服务管理办法》规定，从事互联网信息服务活动的单位和个人，必须取得ICP许可证。那么，ICP许可证办理需要准备哪些材料呢？ 

首先，ICP许可证办理需要提供的基本材料包括，企业法人营业执照（个体工商户提供个体工商户营业执照）、法人身份证、网站负责人身份证、网站域名证书、网站备案真实性材料、网站安全报告、网站信息安全保密承诺书等。 

其次，ICP许可证办理还需要提供的其他材料包括，网站备案真实性材料，包括《网站备案真实性核验单》、《网站备案真实性承诺书》等相关文件。此外，还需要提供网站安全报告，包括《网站信息安全报告》等相关文件。同时，还需要提供网站信息安全保密承诺书，确保网站信息的安全和保密。 

另外，ICP许可证办理需要提供的材料还包括，网站备案域名证书，即网站备案域名证书是指网站备案主体拥有的域名证书，用于证明网站备案主体对网站域名的合法拥有权。此外，还需要提供网站负责人身份证，用于证明网站负责人的身份信息。 

最后，ICP许可证办理还需要提供的材料包括，网站备案单位法人营业执照，即网站备案单位法人营业执照是指网站备案主体单位的法人营业执照，用于证明网站备案主体单位的合法经营资质。同时，还需要提供网站备案单位法人身份证，用于证明网站备案主体单位法人的身份信息。 

综上所述，ICP许可证办理需要准备的材料包括企业法人营业执照、法人身份证、网站负责人身份证、网站域名证书、网站备案真实性材料、网站安全报告、网站信息安全保密承诺书、网站备案域名证书、网站备案单位法人营业执照、网站备

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网站域名ICP备案时需要哪些资料_备案(ICP Filing)-阿里云帮助中心

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域名ICP备案时，需在App端上传主体负责人证件、网站或App负责人证件、主办单位证件等必须上传的基本资料，辅助资料需根据您的ICP备案场景和管局规则选择性的上传。本文为您介绍各种资料的适用场景及上传要求，您可根据本文查看ICP备案所需资料及上传要求，并提前准备好ICP备案所需的资料，加快ICP备案进程。说明 根据工信部真实性核验标准要求，上传资料需使用最新版阿里云App拍摄真实证件材料和ICP备案资料原件的照片并上传，且上传部分实人资料时需同步进行人脸识别完成真实性核验。不可以翻拍存储在手机或电脑中的证件照片，否则会导致ICP备案审核失败。如果ICP备案负责人或相关证件在异地，无法完成人脸真实性核验及拍摄并上传ICP备案证件的原件照片，可由ICP备案负责人本人在异地操作。具体请参见负责人或单位证件在异地，如何上传资料及进行真实性核验。ICP备案主体为个人当ICP备案主体为个人时，您需根据情况准备以下基本资料和辅助资料。基本资料必须提供，辅助资料需根据管局要求提供。 基本资料：需准备ICP备案主体的身份证件原件，通过阿里云App拍照上传ICP备案资料。 身份可用证件中国内地居民身份证中国香港、中国澳门居民港澳居民居住证或港澳居民来往内地通行证中国台湾居民台湾居民居住证或台湾居民来往大陆通行证其他国家和地区居民护照辅助资料：根据各地管局要求，因ICP备案数目较多或其他ICP备案场景等，需准备部分辅助资料用于备案申请。 辅助资料类型适用场景与获取下载域名证书部分省份管局要求提供，您可在各地区管局ICP备案规则中单击对应省份链接，查看各省市管局ICP备案规则。 获取域名证书请参见域名证书。手持个人证件照片个人进行ICP备案时，部分省市管局要求上传互联网信息服务负责人手持个人证件照片，如手持身份证、手持户口本等。您可在各地区管局ICP备案规则中单击对应省份链接，查看各省市管局ICP备案规则。 详细信息请参见手持个人证件照片。网站建设方案书广东省、湖北省等省份管局要求，如果ICP备案主体下域名过多，需提供网站建设方案书。 详细信息请参见网站建设方案书。暂住证或居住证部分省份，例如福建，当ICP备案申请人的身份证户籍地与申请ICP备案的省份不一致时，需要提供暂住证或居住证的电子材料，如原件彩色拍照照片。组网方案建设书有主体新增备案和无主体新增备案时，若您的备案包括网站，需提供本次备案域名的组网方案建设书，组网方案建设书内容需包含以下内容：网站服务内容介绍：包含网站内容截图或设计图、网站栏目及内容介绍、多网站（或域名）用途和域名扩展使用情况。组网方案：包含设备配置、组网结构、使用技术及部署情况。网络安全与信息安全管理制度：包含网络安全防御措施、信息安全管控制度和应急处理方案。承诺：如备案成功后被发现主体信息有误、网站实际开办内容与备案信息不一致、域名有交易行为、网站内容涉及九不准等违法违规问题，自愿接受接入服务商关闭网站、主管部门注销备案并列入黑名单的处罚。需网站负责人签字、盖公章。网站备案承诺书河南根据管局退回意见提供网站备案承诺书。准备好ICP备案所需要的资料后，备案流程请参见ICP备案流程概述。ICP备案主体为企业或组织当ICP备案主体为企业或组织时，您需根据情况准备以下基本资料和辅助资料。基本资料必须提供，辅助资料需根据管局要求提供。 基本资料：需准备主办单位证件、主办单位负责人证件和互联网信息服务负责人证件等原件，通过阿里云App拍照上传。 主办单位证件营业执照等主办单位的资质证件材料。 重要 当主办单位为律师事务所时，上传的主办单位证件需为律师事务所执业许可证副本原件（包含副本首页、登记事项页、变更登记页、年检页）的电子材料，如原件彩色拍照照片。主办单位负责人（主体负责人）证件部分省份管局要求主体负责人必须为法定代表人，您可在各地区管局ICP备案规则中查看各省市管局的具体要求，并根据法定代表人身份提供对应的证件材料。 主体负责人身份可用证件中国内地居民身份证中国香港、中国澳门居民港澳居民居住证或港澳居民来往内地通行证中国台湾居民台湾居民居住证或台湾居民来往大陆通行证其他国际和地区居民护照互联网信息服务负责人证件 互联网信息服务负责人默认同步主体负责人的资料，如果企业的互联网信息服务负责人与主体负责人不是同一人，则需要另外准备互联网信息服务负责人的证件材料。 互联网信息服务负责人身份可用证件中国内地居民身份证中国香港、中国澳门居民港澳居民居住证或港澳居民来往内地通行证中国台湾居民台湾居民居住证或台湾居民来往大陆通行证其他国家和地区居民护照辅助资料：根据各管局要求，不同ICP备案场景可能需要准备部分辅助资料用于ICP备案申请。 辅助资料类型适用场景下载授权书部分省市管局要求，当主体负责人或互联网信息服务负责人不是公司的法定代表人时，需提供主体负责人或互联网信息服务负责人授权书。 详细信息请参见授权书。域名证书部分省份管局要求提供，您可在各地区管局ICP备案规则中单击对应省份链接，查看各省市管局ICP备案规则。 获取域名证书请参见域名证书。手持单位证件照片单位进行ICP备案时，部分省市管局要求上传互联网信息服务负责人手持单位证件照片，如手持营业执照等。 详细信息请参见手持单位证件照片。互联网信息服务进行ICP备案域名注册人的证明部分省市管局要求域名必须在单位名下，个人名下的域名需提供互联网信息服务备案域名注册人的证明。 详细信息请参见有关网站ICP备案域名注册人的证明。编办证明部分省份（云南、内蒙、黑龙江、江西）管局要求事业单位和政府机关申请ICP备案时，需提供上级部门颁发的编办证明。 详细信息请参见编办证明。变更证明备案主体为企业时，如果企业名称发生变更，此种场景下ICP备案时需要提供对应省份工商行政管理部门颁发的变更证明。 详细信息请参见变更证明。网站建设方案书广东省管局要求，如果ICP备案主体下域名过多，需提供网站建设方案书。 湖南省管局要求，有主体新增备案和无主体新增备案时，需提供本次备案域名的网站建设方案书。详细信息请参见网站建设方案书。暂住证或居住证部分省份，例如福建，当ICP备案申请人的身份证户籍地与申请ICP备案的省份不一致时，需要提供暂住证或居住证的电子材料，如原件彩色拍照照片。经营性说明书四川省单位备案，如果单位名称、经营范围、网站名称、网站备注等含有经营性字样，在办理经营性ICP许可证时，被当地管局告知无需办理，您需要在ICP备案过程中需提供单位的经营性说明书。 详细信息请参见经营性说明书。组网方案建设书有主体新增备案和无主体新增备案时，若您的备案包括网站，需提供本次备案域名的组网方案建设书，组网方案建设书内容需包含以下内容：网站内容介绍：包含网站内容截图或设计图、网站栏目及内容介绍、多网站（或域名）用途和域名扩展使用情况。组网方案：包含设备配置、组网结构、使用技术及部署情况。网络安全与信息安全管理制度：包含网络安全防御措施、信息安全管控制度和应急处理方案。承诺：如备案成功后被发现主体信息有误、网站实际开办内容与备案信息不一致、域名有交易行为、网站内容涉及九不准等违法违规问题，自愿接受接入服务商关闭网站、主管部门注销备案并列入黑名单的处罚。需网站负责人签字、盖公章。网站备案承诺书河南个体户，单位名称中含有“商贸、百货、服务部”等字样要求提供网站备案承诺书。准备好ICP备案所需要的资料后，备案流程请参见ICP备案流程概述。资料要求您可参照如下上传资料的要求，准备ICP备案所需的相关资料（如主体证件、身份证件、前置审批、相关证明、授权书等），避免因资料格式不合格被初审驳回。ICP备案所需资料请参见ICP备案所需资料。基本要求大小：每张图片大小应在200 KB~4 MB之间，如超过规定范围可使用第三方图片工具调整资料文件大小。格式：上传图片仅支持JPG、JPEG、PNG、GIF格式。如您的文件格式非规定格式，请勿直接更改格式后缀，您可使用第三方工具打开图片后另存为规定格式。重要 如您上传的图片格式、大小均符合要求但系统仍提示上传失败，您可尝试将阿里云App更新至最新版本并切换网络类型（例如从无线网络切换至移动网络），完成后重启阿里云App并重新上传资料图片。您需将身份证正反面合并在一张图片进行上传。可用性要求清晰度及完整性：为避免图片本身模糊或上传后系统压缩图片导致模糊，请在确保图片内信息清晰可见的情况下尽可能减少图片文件的大小。资料类型：请上传最新的证件原件拍照或彩色扫描的照片（包含完整边框）。请勿上传复印件照片、黑白扫描件、证件翻拍照片（如拍摄显示器显示的电子版证件照片）、电子证件和二次扫描照片。说明 您提交的ICP备案资料必须为最新版。如ICP备案的主体资料信息已发生变更，请您提供变更后最新的资料，否则您的备案订单将被初审驳回。律师事务所执业许可证副本原件中所包含的副本首页、登记事项页、变更登记页、年检页可拼接一起后拍照上传至主办单位证件照位置。时效要求证件有效期（如身份证、单位营业执照等）：自提交ICP备案单订单当日起至ICP备案证件有效期截止日期之间应大于或等于3个月。授权书及证明有效期（如网站负责人授权书、变更证明等）：全国所有省市办理的授权书及相关证明，自办理日起至ICP备案信息提交日期之间应小于或等于3个月。重要 四川省ICP备案单位办理的工作证明与湖南省ICP备案单位办理的域名证书，自办理日起至ICP备案信息提交日期之间应小于或等于45天。湖北省ICP备案单位办理的经营性说明书与河北省ICP备案单位办理的授权书，自办理日起至ICP备案信息提交日期之间应小于或等于6个月。

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为什么选择阿里云什么是云计算全球基础设施技术领先稳定可靠安全合规分析师报告产品和定价全部产品免费试用产品动态产品定价价格计算器云上成本管理解决方案技术解决方案文档与社区文档开发者社区天池大赛培训与认证权益中心免费试用高校计划企业扶持计划推荐返现计划支持与服务基础服务企业增值服务迁云服务官网公告健康看板信任中心关注阿里云关注阿里云公众号或下载阿里云APP，关注云资讯，随时随地运维管控云服务联系我们：4008013260法律声明Cookies政策廉正举报安全举报联系我们加入我们阿里巴巴集团淘宝网天猫全球速卖通阿里巴巴国际交易市场1688阿里妈妈飞猪阿里云计算AliOS万网高德UC友盟优酷钉钉支付宝达摩院淘宝海外阿里云盘饿了么© 2009-2024 Aliyun.com 版权所有 增值电信业务经营许可证： 浙B2-20080101 域名注册服务机构许可： 浙D3-20210002 京D3-20220015浙公网安备 33010602009975号浙B2-20080101-4

ICP（网络内容服务商）_百度百科

网络内容服务商）_百度百科 网页新闻贴吧知道网盘图片视频地图文库资讯采购百科百度首页登录注册进入词条全站搜索帮助首页秒懂百科特色百科知识专题加入百科百科团队权威合作下载百科APP个人中心icp是一个多义词，请在下列义项上选择浏览（共10个义项）展开添加义项ICP播报讨论上传视频网络内容服务商收藏查看我的收藏0有用+10因特网内容提供商英文全称为 Internet Content Provider 简写为ICP，即向广大用户综合提供互联网信息业务和增值业务的电信运营商。其必须具备的证书即为ICP证。因特网内容提供商(ICP，Internet Content Provider)负责提供其网站的内容和与之相关的服务。中文名因特网内容提供商外文名Internet Content Provider应用学科计算机目录1服务简介2国家法规3申请条件4申请材料5ICP变更6ICP审批7申请须知8企业备案服务简介播报编辑根据中华人民共和国国务院令第291号《中华人民共和国电信条例》、第292号《互联网信息服务管理办法》及信息产业部令第3号《互联网电子公告服务管理规定》等文件的规定，北京市通信管理局在信息产业部领导下负责北京地区ICP业务的审批和管理工作。国家对经营性ICP实行许可证制度；对非经营性ICP实行备案制度。 [1]ICP证是网站经营的许可证，根据国家《互联网信息服务管理办法》规定，经营性网站必须办理ICP证，否则就属于非法经营。根据《互联网信息服务管理办法》，违反本办法的规定，未取得经营许可证，擅自从事经营性互联网信息服务，或者超出许可的项目提供服务的，由所在地电信管理机构责令限期改正，有违法所得的，没收违法所得，处违法所得3倍以上5倍以下的罚款；没有违法所得或者违法所得不足55万元的，处10万元以上100万元以下的罚款；情节严重的，责令关闭网站。国家法规播报编辑根据中华人民共和国国务院令第292号《互联网信息服务管理办法》规定，国家对提供互联网信息服务的ICP实行许可证制度。从而，ICP证成为网站经营的许可证，经营性网站必须办理ICP证，否则就属于非法经营。因此，办理ICP证是企业网站合法经营的需要。《互联网信息服务管理办法》内容节选：第四条 国家对经营性互联网信息服务实行许可制度；对非经营性互联网信息服务实行备案制度。未取得许可或者未履行备案手续的，不得从事互联网信息服务。第二十二条 违反本办法的规定，未在其网站主页上标明其经营许可证编号或者备案编号的，由省、自治区、直辖市电信管理机构责令改正，处5000元以上5万元以下的罚款。根据国务院、信息产业部等相关部门公布的《互联网信息服务管理办法》及《非经营性互联网信息服务备案管理办法》（中华人民共和国信息产业部令第33号）等互联网相关法律法规的规定，通信管理局正在针对互联网站备案情况进行清查工作。申请条件播报编辑申请ICP经营许可证应具备的条件1、经营者为依法设立的公司，注册资金大于等于100万的内资公司。2、有与开发经营活动相适应的资金和专业人员；3、有为用户提供长期服务的信誉或者能力；4、有业务发展计划及相关技术方案；5、健全的网络与信息安全保障措施，包括网站安全保障措施、信息安全保密管理制度、用户信息安全管理制度；6、涉及到ICP管理办法中规定须要前置审批的信息服务内容的，已取得有关主管部门同意的文件；7、国家规定的其他条件。ICP每年要年审；网站改版后，不需要重新申请ICP，只要去管理局进行内容变更。申请材料播报编辑申请ICP许可证需要的材料注册资金：100万以上；有独立的企业法人（一）公司法定代表人签署的经营增值电信业务的书面申请。（二）ICP备案登记表。（三）公司的企业法人营业执照副本及复印件并加盖公司公章。（四）公司概况。包括公司基本情况，拟从事增值电信业务的人员、场地和设施等情况。（五）公司近一年经会计师事务所审计的财务报告或验资报告（新公司仅提供验资报告）。（六）公司章程，公司股权结构及股东的有关情况。（七）从事新闻，出版，教育，医疗保健，药品和医疗器械等互联网信息服务的，应提交有关主管部门前置审批的审核同意文件。（八）从事经营ICP业务的可行性报告（含经营服务项目、范围、业务市场预测、投资效益分析、发展规划、工程计划安排、预期服务质量、收费方式和标准）和技术方案（含网络概况及结构、组网方式、网络选用的技术及标准、设备配置等）。（九）为用户提供长期服务和质量保障的措施。（包括后续资金保障，技术力量保障，商业经营保障，内置管理模式）。（十）信息安全保障措施。（包括网站安全保障措施，信息安全保密管理制度，用户信息安全管理制度）。（十一）接入基础电信运营商的证明即服务器托管协议（预期服务保障）。（十二）公司法定代表人签署的公司依法经营电信业务的承诺书。（十三）证明公司信誉的有关材料（新申请公司无此项，，由非经营性公司转为经营性公司需提供）。（十四）网站必须登陆备案网站管理系统进行备案（新申请公司无此项，由非经营性公司转为经营性公司需提供）。ICP许可程序其实ICP经营许可证的程序很简单，但是办理起来却不是那么简单，过去人们常说书到用时方恨少，其实读万卷书不如行万里路。只有真正的见多才能够做到识广。所以，在企业办理ICP经营许可证的时候，不妨委托专业的咨询代理机构进行代理。ICP证是网站经营的许可证，根据国家《互联网管理办法》规定，经营性网站必须办理ICP证，否则就属于非法经营。未取得经营许可或未履行备案手续，擅自从事互联网信息服务的，由相关主管部门依法责令限期改正，给予罚款、责令关闭网站等行政处罚；构成犯罪的，依法追究刑事责任。ICP经营许可证除了需要第一次的办理之外，还需要进行年检和续期，以ICP经营许可证续期为例，企业需要提交以下的申请材料，具体包括了企业法人营业执照副本复印件(递交材料时需要原件核实) 、组织机构代码证副本复印件、法人的身份证复印件、公司章程复印件、股东身份证复印件（如果股东为企业的提供企业营业执照副本复印件）、验资报告/审计报告、技术人员的身份证、学历证明、简历的复印件(5名左右)。ICP变更播报编辑ICP增项是ICP变更最为常见的一种。以ICP许可证的增项为例，办理ICP许可证的增项，企业是需要准备如下的变更材料：包括了介绍信、公司企业法人营业执照有效复印件（在复印件上注明“与原件一致”并加盖单位公章）、公司章程、验资报告及法人身份证复印件、提供ICP经营许可证复印件和ICP批文复印件、申办互联网信息服务（ICP）经营许可证项目变更（增项）申请书、申请书抬头应为“XX省通信管理局”、 申请变更（增项）的项目、内容、变更（增项）的原因、需写明股东构成及出资、网站名称、域名、IP地址、提供接入的ISP公司、服务器机房地址、联系人、联系电话、通信地址、邮政编码、落款加盖单位公章。此外，如果公司域名、公司名称或公司注册资金变更，需作变更申报，如果其他日常信息（如公司电话等）变更，可在年检时变更。ICP审批播报编辑ICP审批材料1、单位介绍信2、企业法人营业执照副本的复印件3、公司章程复印件4、验资报告复印件5、ISP专线接入/主机托管协议书复印件6、主机托管提供商的IDC证的复印件7、公司股东的身份证复印件和企业法人的身份证复印件、两个以上BBS版主的身份证复印件以及版主的简历（不少于2页）、与主机托管商的关于办理BBS的补充协议8、ICP证的复印件。申请须知播报编辑根据现有流程，用户在提交网站备案信息后，不能自行修改信息，需由其接入服务商代为修改，其目的在于强化接入服务商的代备案责任，减轻网站主办者自行备案负担。但总结分析这个社会反映问题，考虑到少量网站主办者希望能自行修改备案信息，已开始对有关功能进行修改，允许自行备案的网站主办者在完成备案前可以修改所提交的备案信息。由于程序实现需要时间，暂时还只能按照现有流程操作。具体为：(1)对自行备案的情况：如果备案信息尚未提交，请使用用户名和密码登录，点击信息录入菜单进行编辑；如果备案信息已经提交，请和接入服务商联系，并向其提供用户名和密码，由其代为修改。(2)对接入服务商代备案的情况：请和接入服务商联系，并向其提供用户名，由其代为修改。备案信息被所属省通信管理局拒绝解决办法：(1)请使用用户名和密码登录，查看被拒绝的理由；(2)联系接入商修改不符合要求的信息；(3)修改后的备案信息会直接转到相应的省管局进行再次审核。注：拒绝后，用户请勿为相同网站再次备案（因系统具有冲突检测功能，若再次提交，再次提交信息也将因系统提示信息重复等冲突检测问题而无法成功提交）。企业备案播报编辑1.企业网站备案信息真实性核验单。主要内容包括：网站主办者名称、网站类型、网站域名、主体信息核验内容、联系方式核验内容、网站信息核验内容、接入信息报备内容等等。2.主机托管、整机租用用户入网责任书。主要内容包括：客户信息、主机配置、及需要负相关法律责任的责任书。3.网站备案授权书。主要内容：是企业授权给相关负责人，处理网站备案的相关事宜。4.网站备案信息登记表。主要内容包括：主办单位名称、主办单位性质、网站负责人基本情况、网站接入方式等等。5.信息安全责任书(企业)。主要内容包括：企业网站需要签署相关责任书，对网站的相关内容负责。所需材料应该包含：1.主办单位名称：（注：如果是个人网站的，就填名字；如果是企业网站的，就填公司名称）2.主办单位有效证号码：（注：如果主办单位名称是个人名字的，就填身份证号码；如果是公司的，那么就写营业执照号码）3.主办单位性质：（注：填写, 企业，个人，事业单位，政府机关，或者军队）4.主办单位通信地址：（注：一定要写清楚哪个省，市，区，街，号。地址一定要详细，否则因地址不详细的而备案不成功的，本公司不承担责任）5.有效证件类型：（注：填写, 身份证，护照，军官证，或台胞证）6.网站的负责人姓名：7.网站的负责人办公电话：8.负责人有效证件号码：9.负责人手机号码：10.电子邮箱：11.网站名称：12.网站域名：（注：列出此空间绑定的所有域名,以分号 “ ;” 隔开）新手上路成长任务编辑入门编辑规则本人编辑我有疑问内容质疑在线客服官方贴吧意见反馈投诉建议举报不良信息未通过词条申诉投诉侵权信息封禁查询与解封©2024 Baidu 使用百度前必读 | 百科协议 | 隐私政策 | 百度百科合作平台 | 京ICP证030173号 京公网安备110000020000

电感耦合等离子体（ICP）刻蚀 - 牛津仪器

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解决方案

二维材料增强现实（AR）生物器件失效分析

HBLEDs红外传感器激光器VCSELs

MEMS & 传感器功率器件量子技术RF

 

工艺

等离子刻蚀反应离子刻蚀RIE-PEICP 刻蚀等离子抛光

等离子沉积PECVDICPCVDCVD

离子束离子束刻蚀离子束沉积

原子层原子层沉积原子层刻蚀原子层处理

 

材料

1D materials2D materialsAl2O3AlGaN-GaNAlNa-SiCrCo

DiamondDLCGaSbGaAs/AlGaAsGaNGaPHfNHfO2

InP/InGaAs/InAlAsInSbNbNNiPMMAPtSiSiC

SiGeSiNxSiO2Ta2O5TiO2VOxZnOMore materials...

 

设备

设备类型Clusters for device productionClusters for researchLoad LockOpen LoadUpgrades

ICPPlasmaPro 80 ICPPlasmaPro 100 CobraPlasmaPro 100 PolarisPlasmaPro 100 Cobra GaAs VCSELRIEPlasmaPro 80 RIEPlasmaPro 100 RIEPlasmaPro 800 RIEDeep Si EtchPlasmaPro 100 Estrelas

PECVDPlasmaPro 80 PECVDPlasmaPro 100 PECVDPlasmaPro 800 PECVDPlasmaPro 1000 StratumICPCVDPlasmaPro 80 ICPCVDPlasmaPro 100 ICPCVD

ALDFlexALPlasmaPro ASPALE带刻蚀点的原子层刻蚀：PlasmaPro 100 ALE离子束Ionfab 300 IBEIonfab 300 IBD纳米尺度生长PlasmaPro 100 Nano

 

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ICP Etching

电感耦合等离子体刻蚀

ICP RIE刻蚀是一种先进的技术，旨在实现高刻蚀率、高选择性和低损伤加工。由于等离子体可保持在低压状态，因此还能提供出色的剖面控制。

The Cobra® ICP源可产生均匀、高密度的等离子体，并能在低压下运行。基底直流偏压由单独的射频发生器独立控制，可以控制离子能量，从而获得符合特定工艺要求的出色结果。

白皮书

高功率VCSEL阵列的干法刻蚀

生物医学应用的器件制造

案例研究

优化超导Qubits的制造工艺

主要优势

独特的宽温度范围电极，温度范围从-150ºC到+400ºC，可为各种材料和器件提供一系列工艺解决方案

通过高离子密度(>1011 cm3)和高自由基密度实现高刻蚀率

刻蚀源设计用于实现出色的跨晶圆均匀性

通过低离子能量实现对选择性和损伤的控制

在低压加工过程中，通过高反应物密度实现出色的剖面控制

通过独立的基底直流偏压控制实现离子能量的独立控制

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Optoelectronics (3D Sensors)

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PlasmaPro 80

PlasmaPro 100

PlasmaPro Polaris

电极尺寸

240mm

装载方式

开放装载

装载锁或盒式

晶圆尺寸

最大50 mm(2")*

最大200 mm

MFC控制的气路数量

可提供8或12条管路的气箱

3-5条密接式气路，可选8-12条外部气路

可提供8或12条管路的气箱

晶圆台温度范围

-150 ºC至400ºC

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Optoelectronics

Optoelectronics (3D Sensors)

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(HEB) Hebei Province(HEN) Henan Province(HUB) Hubei Province(HUN) Hunan Province(SAA) Shaanxi Province(SAX) Shanxi ProvinceAnhui ProvinceBeijing MunicipalityChongqing MunicipalityFujian Province[e]Gansu ProvinceGuangdong ProvinceGuangxi Zhuang Autonomous RegionGuizhou ProvinceHainan ProvinceHeilongjiang ProvinceHong Kong Special Administrative RegionJiangsu ProvinceJiangxi ProvinceJilin ProvinceLiaoning ProvinceMacau Special Administrative RegionNingxia Hui Autonomous RegionQinghai ProvinceShandong ProvinceShanghai MunicipalitySichuan ProvinceTianjin MunicipalityXinjiang Uyghur Autonomous RegionYunnan ProvinceZhejiang Province

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应用领域

GaN刻蚀，用于LED或激光器和功率器件

具有光滑刻蚀表面的垂直磷化铟 (InP) 波导

非选择性GaAs/AlGaAs，可实现VCSEL的光滑侧壁

精确的VCSEL台面刻蚀，具有优异的刻蚀深度控制

用于光电子器件的高度选择性GaAs/AlGaAs

用于波导的氧化物刻蚀

故障分析应用，用于去除：

各向同性聚酰亚胺和各向同性氮化物（钝化）

各向异性氧化物（IMD/ILD）

低介电常数氧化物

铝和铜

背面硅块

特点

独立的射频和ICP发生器可分别控制离子能量和离子密度，实现高度的工艺灵活性

化学刻蚀和离子诱导刻蚀

在特定低刻蚀速率应用中也可以以RIE模式运行

可用于ICP-CVD模式下的沉积

高电导泵送端口可提供高气体吞吐量，以实现最快的刻蚀速率

静电屏蔽消除了电容耦合，减少了对器件的电损伤，并减少了腔室颗粒

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成分分析四大家—XRF、ICP、EDS、WDS - 知乎

成分分析四大家—XRF、ICP、EDS、WDS - 知乎首发于生化环材切换模式写文章登录/注册成分分析四大家—XRF、ICP、EDS、WDS测试狗科研服务​已认证账号FirstXRF指的是X射线荧光光谱仪，可以快速同时对多元素进行测定的仪器。在X射线激发下，被测元素原子的内层电子发生能级跃迁而发出次级X射线（X-荧光）。从不同的角度来观察描述X射线，可将XRF分为能量散射型X射线荧光光谱仪，缩写为EDXRF或EDX和波长散射型X射线荧光光谱仪，可缩写为WDXRF或WDX，但市面上用的较多的为EDX。WDX用晶体分光而后由探测器接收经过衍射的特征X射线信号。如分光晶体和探测器做同步运动，不断地改变衍射角，便可获得样品内各种元素所产生的特征X射线的波长及各个波长X射线的强度，并以此进行定性和定量分析。EDX用X射线管产生原级X射线照射到样品上，所产生的特征X射线进入Si（Li）探测器，便可进行定性和定量分析。EDX体积小，价格相对较低，检测速度比较快，但分辨率没有WDX好。XRF用的是物理原理来检测物质的元素，可进行定性和定量分析。即通过X射线穿透原子内部电子，由外层电子补给产生特征X射线，根据元素特征X射线的强度，即可获得各元素的含量信息。这就是X射线荧光分析的基本原理。它只能测元素而不能测化合物。但由于XRF是表面化学分析，故测得的样品必须满足很多条件才准，比如表面光滑，成分均匀。如果成分不均匀，只能说明在XRF测量的那个微区的成分如此，其他的不能表示。XRF的优点：分析速度高。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2-5分钟就可以测完样品中的全部元素。非破坏性。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。分析精密度高。制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。测试元素范围大，WDX可在ppm-100%浓度下检测B5-U92，而EDX可在1ppm-100ppm下检测大多数元素，Na11-U92。此外还可以检测Cu合金中的Be含量。可定量分析材料元素组成，分辨率高，探针尺寸为500μm (WDX), 75μm (EDX)。SecondICP是电感耦合等离子谱仪。根据检测器的不同分为ICP—OES（电感耦合等离子发射光谱仪，也称ICP-AES）和ICP-MS（电感耦合等离子质谱仪）。两者均能测元素周期表中的绝大部分元素，但能测得元素稍微有异，检测能力上后者要比前者高。因为ICP光源具有良好的原子化、激发和电离能力，所以它具有很好的检出限。对于多数元素，其检出限一般为0.1～100ng/ml，可以同时测试多种元素，灵敏度高，检测限低，测试范围宽（低含量成分和高含量成分能够同时测试）。ICP-OES其前身为ICP-AES（电感耦合等离子体原子发射谱仪），它基于物质在高频电磁场所形成的高温等离子体中有良好的特征谱线发射,再以半导体检测器检测这些光谱能量，参照同时测定的标准溶液计算出试液中待测元素的含量.ICP-AES测试的有效波长范围是120-800 nm，因为原子发射光谱的所有相关信息都集中在这个范围内。其中，120-160 nm波段尤其适用于分析卤素或者某些特殊应用的替代谱线。注：测试的有效波长范围跟仪器当然也直接相关，有些仪器只能测160 nm以上的波段。一般情况下，ICP-AES测试的都是液体样品，因此测试时需要将样品溶解在特定的溶剂中（一般就是水溶液）；测试的样品必须保证澄清，颗粒、悬浊物有可能堵塞内室接口或者通道；溶液样品中不能含有对仪器有损坏的成分（如HF和强碱等）。由于现在ICP发射光谱技术用到了越来越多的离子线，“原子发射光谱仪”已经不是那么科学，所以现在都叫OES了。ICP—OES可同时分析常量和痕量组分，无需繁复的双向观测，还能同时读出、无任何谱线缺失的全谱、直读等离子体发射光谱仪，具有检出限极低、重现性好，分析元素多等显著特点，ICP-OES大部份元素的检出限为1～10ppb，一些元素也可得到亚ppb级的检出限。ICP-OES的检测元素如下图：ICP-MS电感耦合等离子体质谱仪以质谱仪作为检测器，通过将样品转化为运动的气态离子并按质荷比（M/Z）大小进行分离并记录其信息来分析。若其所得结果以图谱表达，即所谓的质谱图。ICP-MS的进样部分及等离子体和ICP-AES的是极其相似的。但ICP-MS测量的是离子质谱，提供在3～250amu范围内每一个原子质量单位（amu）的信息。还可进行同位素测定。ICP-MS具有极低的检出限，其溶液的检出限大部份为ppt级，石墨炉AAS的检出限为亚ppb级，但由于ICP-MS的耐盐量较差，ICP-MS的检出限实际上会变差多达50倍，一些轻元素（如S、Ca、Fe、K、Se）在ICP-MS中有严重的干扰，其实际检出限也很差。ICP-MS的检测元素和检测极限如下图：整体来说，ICP-OES和ICP-MS可分析的元素基本一致，不过由于分析检测系统的差异，两者的检测限有差异：ICP-MS的检测限很低，最好的可以达到ng/L（ppt）的水平；而ICP-AES一般是ug/L（ppb）的级别。不过ICP-MS只能分析固体溶解量为0.2%左右的溶液（因此经常需要稀释），而ICP-AES则可以分析固体溶解量超过20%的溶液。ThirdEDS是能量色散X射线谱仪，简称能谱仪，常用作扫描电镜或透射电镜的微区成分分析。利用发射出来的特征X射线能量不同而进行的元素分析，称为能量色散法。X射线能谱仪的主要构成单元是Si（Li）半导体检测器，即锂飘移硅半导体检测器和多道脉冲分析器。目前还不能用于分析超轻元素（O、N、C等）。由于能谱仪中Si（Li）检测器的Be窗口吸收超轻元素的X射线，故只能分析Na以后的元素。能谱仪结构简单，数据稳定性和重现性较好。WDS全称波长分散谱仪，简称波谱仪，常用作电子探针仪中的微区成分分析，其分辨率比能谱仪高一个数量级，但它只能逐个测定每一元素的特征波长，一次全分析往往需要几个小时。在电子探针中，X射线是由样品表面以下m数量级的作用体积中激发出来的，如果这个体积中的样品是由多种元素组成，则可激发各个相应元素的特征X射线。被激发的特征X射线照射到连续转动的分光晶体上实现分光（色散），即不同波长的X射线将在各自满足布拉格方程的2θ方向上被（与分光晶体以2:1的角速度同步转动的）检测器接收。波谱仪的突出特点是波长分辨率很高，缺点是X射线信号的利用率极低，难以在低束流和低激发强度下使用。波谱仪可分析铍（Be）— 铀U之间的所有元素。波谱仪的定量分析误差（1-5%）远小于能谱仪的定量分析误差（2-10%）。波谱仪要求样片表面平整，能谱仪对样品表面没有特殊要求。EDS需要与SEM、TEM、XRD等联用，可做电分析、线分析和面分析。WDS对于微量元素即含量小于0.5%元素分析明显比EDS准确。波谱仪分辨本领为0.5nm,相当于5-10eV,而能谱仪最佳分辨本领为149eV。Final综上所述，XRF和ICP常用作成分的定量分析，其中XRF用物理方法检测而ICP用化学方法进行测试。相对XRF，ICP的检测范围更宽，检测极限更低，检测出的数据更准确。EDS和WDS常用作电镜的附件进行成分分析，但多作为半定量分析，仅可以看出各个元素的比值和大概分布情况及含量，准确性不如XRF和ICP。声明：本文版权属于测试狗，投稿转载请联系GO三思（kf01@ceshigo.com），如需转载请注明出处，并附有原文链接，谢谢！发布于 2019-08-22 14:19科研​赞同 109​​15 条评论​分享​喜欢​收藏​申请转载​文章被以下专栏收录生

ICP证书是什么?怎么办理？需要那些材料？ - 知乎

ICP证书是什么?怎么办理？需要那些材料？ - 知乎首发于企业服务专栏切换模式写文章登录/注册ICP证书是什么?怎么办理？需要那些材料？吴经理ICP证书是什么？ 网络内容服务商英文为 Internet Content Provider 简写为ICP，即向广大用户综合提供互联网信息业务和增值业务的电信运营商。其必须具备的证书即为ICP证。ICP证是指各地通信管理部门核发的《中华人民共和国电信与信息服务业务经营许可证》。审批部门：各地通信管理局年检：每年1-3月。有效期：五年审批时间：官方60个工作日法律依据 根据中华人民共和国国务院令第291号中华人民共和国电信条例 、第292号《互联网信息服务管理办法》（简称ICP管理办法），国家对提供互联网信息服务的ICP实行许可证制度。ICP证是网站经营的许可证，根据国家《互联网信息服务管理办法》规定，经营性网站必须办理ICP证，否则就属于非法经营。ICP根据《互联网信息服务管理办法》违反本办法的规定，未取得经营许可证，擅自从事经营性互联网信息服务，或者超出许可的项目提供服务的，由所在地电信管理机构责令限期改正，有违法所得的，没收违法所得，处违法所得3倍以上5倍以下的罚款；没有违法所得或者违法所得不足5万元的，处10万元以上100万元以下的罚款；情节严重的，责令关闭网站。申请条件《电信业务经营许可证管理办法》 第6条规定：申请经营性增值电信业务的，应当符合下列条件：（一）经营者为依法设立的公司。（二）有与开展经营活动相适应的资金和专业人员。（三）有为用户提供长期服务的信誉或者能力。（四）在省、自治区、直辖市范围内经营的，注册资本最低限额为100万元人民币；在全国或者跨省、自治区、直辖市范围内经营的，注册资本最低限额为1000万元人民币。（五）有必要的场地、设施及技术方案。（六）公司及其主要出资者和主要经营管理人员三年内无违反电信监督管理制度的违法记录。（七）国家规定的其他条件。所需材料（以北京为例，其他省市材料有稍微差异，以当地要求位置）ICP申办所需材料：（1）营业执照副本原件彩色扫描件 （2）法人及股东身份证原件彩色扫描件，公司固定电话、传真。 (3).域名注册证书原件彩色扫描件（域名所有人必须公司全称） （4）网络接入协议原件彩色扫描件及接入商资质（正页年检页）盖章扫描件 （5）三名人员（许可负责人、客服负责人、安全负责人身份证正反面彩色扫描件、电话），并有本次许可提交时一个月以内开具的，最近一个月的社保证明（（1）社保缴纳主体应为申请者本身。（2）社保证明需包含以下要素：公司名称、人员姓名、身份证号、缴纳社保期限、社保部门公章等。（3）若公司所在地社保网站可在线核验社保证明，请提交可以核验的社保证明（如带有校验码、防伪码、验证码等），应在查询的有效期限内）。编辑于 2021-10-08 13:54网络内容服务商（ICP）网站备案增值电信业务经营许可证​赞同​​添加评论​分享​喜欢​收藏​申请转载​文章被以下专栏收录企业服务专栏解决企业资质需求在政策了解及证件办理方面的

ICP证书是什么?怎么办理？需要那些材料？ - 知乎

ICP证书是什么?怎么办理？需要那些材料？ - 知乎首页知乎知学堂发现等你来答​切换模式登录/注册网站备案网络内容服务商（ICP）增值电信业务经营许可证ICP证书是什么?怎么办理？需要那些材料？关注者4被浏览2,904关注问题​写回答​邀请回答​好问题​添加评论​分享​4 个回答默认排序快跑者Keloop​已认证账号​ 关注ICP证书是指互联网内容提供者备案许可证，是中国大陆互联网企业开展经营活动的必备证件。根据《中华人民共和国互联网信息服务管理办法》的规定，互联网内容提供者需要在工业和信息化部门备案并获得ICP证书才能正式上线运营网站或应用。办理ICP证书的具体步骤如下：选择主体类型：根据你的企业类型，选择是个人还是企业备案。个人备案适用于个体工商户或个人创业者，企业备案适用于公司、机构等法人实体。准备备案材料：备案所需材料因地区和主体类型而异，一般包括以下内容：个人备案材料：个人身份证（正反面）、手机号码、个人近期照片等。企业备案材料：营业执照副本、法定代表人身份证（正反面）、法人授权书、公司近期照片等。此外，根据当地要求，可能还需要提供其他相关材料，如域名证书、网站备案信息报备表等。建议咨询当地工业和信息化部门或备案服务机构，了解具体要求和流程。选择备案服务商：备案需要通过工业和信息化部门指定的备案服务提供商进行申请。选择一家可靠的备案服务商，并提供所需材料，由其协助办理备案手续。备案服务商可以提供具体的指导和支持，确保备案顺利进行。在线申请备案：通过备案服务商提供的备案系统，填写相关信息，上传所需材料，并按照要求完成申请表格。确保提供的信息准确无误。审核和备案：提交备案申请后，工业和信息化部门将对申请进行审核。审核周期通常需要几个工作日至几周不等，具体时间根据地区和情况而定。如果审核通过，备案服务商将为你办理ICP证书，你可以在备案系统中查看和下载证书。请注意，备案要求和程序可能会根据地区和政策的变化而有所调整，建议及时咨询当地工业和信息化部门或备案服务机构，以获得最新的准确信息。当下办理ICP许可证选择第三方代办，仅千元便能省事省力省心的高效快速拿证！~有这方面需求的小伙伴可以点击咨询哦！【快跑者ICP/EDI代办点击一键咨询】更多外卖跑腿创业最新咨询，ICP代办细节，关注快跑者微信公众号即可免费咨询！发布于 2023-07-07 17:48​赞同​​添加评论​分享​收藏​喜欢收起​互联网资质办理​ 关注　　经营性icp许可证是什么意思?经营性icp许可证最显著的是经营性，一般公司网站、个人网站是不用进行办理。那ICP许可证办理的要求是什么?为什么要办理ICP许可证呢?跟着小编一起看看下面的问题，希望对您的icp许可证资质办理有帮助。一、什么是ICP经营许可证?　　ICP经营许可证全称是：第二类增值电信业务经营许可证，根据我国《电信业务经营许可管理办法》规定，电业业务分为：基础电业业务和增值电信业务　　其中第二类增值电业业务中的“信息服务业务”包含我们常说的ICP许可证。　　信息服务业务是指通过信息采集、开发、处理和信息平台的建设，通过公用通信网或互联网向用户提供信息服务的业务，信息服务的类型按照信息组织、传递等技术服务方式，主要包括信息发布平台和递送服务、信息搜索查询服务、信息社区平台服务、信息即时交互服务、信息保护和处理服务等。二、目前信息服务业务分为两个业务类别：(1)信息服务业务仅限互联网信息服务　　①信息发布平台和递送服务：应用商店、门户网站　　②信息搜索查询服务：搜索引擎、网页导航　　③信息社区服务：论坛、社交平台、　　④信息即时交互服务：即时通信、互联网交互式语音　　⑤信息保护和加工处理服务：防病毒平台、垃圾信息拦截平台　　企业相关业务的盈利模式：前向用户收费、后向平台服务收费、混合收费;盈利模式中的前向用户收费是指面向最终使用者收费，如付费阅读;后向平台服务收费是指对企事业单位或信息提供者收费，如广告费;混合收费是指既有前向收费，又有后向收费。　　ICP许可证申请需专项审批的项目：新闻、出版、药品和医疗器械、文化、视听节目(2)信息服务业务不含互联网信息服务　　服务项目：短信充值、短信订阅和查询、验证码、会员通知等代发、短信(SMS)、彩信(MMS))、彩铃、IVR、WAP、JAVA、手机游戏等业务　　其中B25类信息服务业务有分为两种：信息服务业务(仅限互联网信息服务业务)【ICP许可证】和信息服务业务(不含互联网信息服务)【SP许可证】　　ICP经营许可证根据企业性质分为：纯内资企业ICP经营许可证和外资ICP经营许可证三、为什么要办理ICP许可证?　　ICP许可证是网站经营的许可证，根据中华人民共和国国务院令第292号——《互联网信息服务管理办法》第三条互联网信息服务分为经营性和非经营性两类。　　经营性互联网信息服务，是指通过互联网向上网用户有偿提供信息或者网页制作等服务活动。　　非经营性互联网信息服务，是指通过互联网向上网用户无偿提供具有公开性、共享性信息的服务活动。　　第四条国家对经营性互联网信息服务实行许可制度;对非经营性互联网信息服务实行备案制度。未取得许可或者未履行备案手续的，不得从事互联网信息服务。　　第五条从事新闻、出版、教育、医疗保健、药品和医疗器械等互联网信息服务，依照法律、行政法规以及国家有关规定须经有关主管部门审核同意的，在申请经营许可或者履行备案手续前，应当依法经有关主管部门审核同意。　　第十九条违反本办法的规定，未取得经营许可证，擅自从事经营性互联网信息服务，或者超出许可的项目提供服务的，由省、自治区、直辖市电信管理机构责令限期改正，有违法所得的，没收违法所得，处违法所得3倍以上5倍以下的罚款;没有违法所得或者违法所得不足5万元的，处10万元以上100万元以下的罚款;情节严重的，责令关闭网站。违反本办法的规定，未履行备案手续，擅自从事非经营性互联网信息服务，或者超出备案的项目提供服务的，由省、自治区、直辖市电信管理机构责令限期改正;拒不改正的，责令关闭网站。　　第二十二条违反本办法的规定，未在其网站主页上标明其经营许可证编号或者备案编号的，由省、自治区、直辖市电信管理机构责令改正，处5000元以上5万元以下的罚款。发布于 2023-06-30 15:54​赞同​​添加评论​分享​收藏​喜欢收起​​

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离子束离子束刻蚀离子束沉积

原子层原子层沉积原子层刻蚀原子层处理

 

材料

1D materials2D materialsAl2O3AlGaN-GaNAlNa-SiCrCo

DiamondDLCGaSbGaAs/AlGaAsGaNGaPHfNHfO2

InP/InGaAs/InAlAsInSbNbNNiPMMAPtSiSiC

SiGeSiNxSiO2Ta2O5TiO2VOxZnOMore materials...

 

设备

设备类型Clusters for device productionClusters for researchLoad LockOpen LoadUpgrades

ICPPlasmaPro 80 ICPPlasmaPro 100 CobraPlasmaPro 100 PolarisPlasmaPro 100 Cobra GaAs VCSELRIEPlasmaPro 80 RIEPlasmaPro 100 RIEPlasmaPro 800 RIEDeep Si EtchPlasmaPro 100 Estrelas

PECVDPlasmaPro 80 PECVDPlasmaPro 100 PECVDPlasmaPro 800 PECVDPlasmaPro 1000 StratumICPCVDPlasmaPro 80 ICPCVDPlasmaPro 100 ICPCVD

ALDFlexALPlasmaPro ASPALE带刻蚀点的原子层刻蚀：PlasmaPro 100 ALE离子束Ionfab 300 IBEIonfab 300 IBD纳米尺度生长PlasmaPro 100 Nano

 

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ICP Etching

电感耦合等离子体刻蚀

ICP RIE刻蚀是一种先进的技术，旨在实现高刻蚀率、高选择性和低损伤加工。由于等离子体可保持在低压状态，因此还能提供出色的剖面控制。

The Cobra® ICP源可产生均匀、高密度的等离子体，并能在低压下运行。基底直流偏压由单独的射频发生器独立控制，可以控制离子能量，从而获得符合特定工艺要求的出色结果。

白皮书

高功率VCSEL阵列的干法刻蚀

生物医学应用的器件制造

案例研究

优化超导Qubits的制造工艺

主要优势

独特的宽温度范围电极，温度范围从-150ºC到+400ºC，可为各种材料和器件提供一系列工艺解决方案

通过高离子密度(>1011 cm3)和高自由基密度实现高刻蚀率

刻蚀源设计用于实现出色的跨晶圆均匀性

通过低离子能量实现对选择性和损伤的控制

在低压加工过程中，通过高反应物密度实现出色的剖面控制

通过独立的基底直流偏压控制实现离子能量的独立控制

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PlasmaPro 100

PlasmaPro Polaris

电极尺寸

240mm

装载方式

开放装载

装载锁或盒式

晶圆尺寸

最大50 mm(2")*

最大200 mm

MFC控制的气路数量

可提供8或12条管路的气箱

3-5条密接式气路，可选8-12条外部气路

可提供8或12条管路的气箱

晶圆台温度范围

-150 ºC至400ºC

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应用领域

GaN刻蚀，用于LED或激光器和功率器件

具有光滑刻蚀表面的垂直磷化铟 (InP) 波导

非选择性GaAs/AlGaAs，可实现VCSEL的光滑侧壁

精确的VCSEL台面刻蚀，具有优异的刻蚀深度控制

用于光电子器件的高度选择性GaAs/AlGaAs

用于波导的氧化物刻蚀

故障分析应用，用于去除：

各向同性聚酰亚胺和各向同性氮化物（钝化）

各向异性氧化物（IMD/ILD）

低介电常数氧化物

铝和铜

背面硅块

特点

独立的射频和ICP发生器可分别控制离子能量和离子密度，实现高度的工艺灵活性

化学刻蚀和离子诱导刻蚀

在特定低刻蚀速率应用中也可以以RIE模式运行

可用于ICP-CVD模式下的沉积

高电导泵送端口可提供高气体吞吐量，以实现最快的刻蚀速率

静电屏蔽消除了电容耦合，减少了对器件的电损伤，并减少了腔室颗粒

晶圆夹持和氦气冷却为标准配置，可提供出色的温度控制，并可选择较宽的温度范围

ICP刻蚀的InP展现出光滑的侧壁和干净的刻蚀表面

使用Cr掩模对SiO2波导进行 ICP刻蚀

ICP刻蚀系统

优异的晶圆温度均匀性

最大可容纳200 mm的晶圆

经过优化的电极冷却

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PlasmaPro 100 Cobra

高密度的活性物质

宽温度范围电极，-150°C至400°C

广泛应用于各种市场

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产量高，刻蚀效果极佳

高密度等离子体刻蚀源

增强的离子控制和均匀性

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域名ICP备案时，需在App端上传主体负责人证件、网站或App负责人证件、主办单位证件等必须上传的基本资料，辅助资料需根据您的ICP备案场景和管局规则选择性的上传。本文为您介绍各种资料的适用场景及上传要求，您可根据本文查看ICP备案所需资料及上传要求，并提前准备好ICP备案所需的资料，加快ICP备案进程。说明 根据工信部真实性核验标准要求，上传资料需使用最新版阿里云App拍摄真实证件材料和ICP备案资料原件的照片并上传，且上传部分实人资料时需同步进行人脸识别完成真实性核验。不可以翻拍存储在手机或电脑中的证件照片，否则会导致ICP备案审核失败。如果ICP备案负责人或相关证件在异地，无法完成人脸真实性核验及拍摄并上传ICP备案证件的原件照片，可由ICP备案负责人本人在异地操作。具体请参见负责人或单位证件在异地，如何上传资料及进行真实性核验。ICP备案主体为个人当ICP备案主体为个人时，您需根据情况准备以下基本资料和辅助资料。基本资料必须提供，辅助资料需根据管局要求提供。 基本资料：需准备ICP备案主体的身份证件原件，通过阿里云App拍照上传ICP备案资料。 身份可用证件中国内地居民身份证中国香港、中国澳门居民港澳居民居住证或港澳居民来往内地通行证中国台湾居民台湾居民居住证或台湾居民来往大陆通行证其他国家和地区居民护照辅助资料：根据各地管局要求，因ICP备案数目较多或其他ICP备案场景等，需准备部分辅助资料用于备案申请。 辅助资料类型适用场景与获取下载域名证书部分省份管局要求提供，您可在各地区管局ICP备案规则中单击对应省份链接，查看各省市管局ICP备案规则。 获取域名证书请参见域名证书。手持个人证件照片个人进行ICP备案时，部分省市管局要求上传互联网信息服务负责人手持个人证件照片，如手持身份证、手持户口本等。您可在各地区管局ICP备案规则中单击对应省份链接，查看各省市管局ICP备案规则。 详细信息请参见手持个人证件照片。网站建设方案书广东省、湖北省等省份管局要求，如果ICP备案主体下域名过多，需提供网站建设方案书。 详细信息请参见网站建设方案书。暂住证或居住证部分省份，例如福建，当ICP备案申请人的身份证户籍地与申请ICP备案的省份不一致时，需要提供暂住证或居住证的电子材料，如原件彩色拍照照片。组网方案建设书有主体新增备案和无主体新增备案时，若您的备案包括网站，需提供本次备案域名的组网方案建设书，组网方案建设书内容需包含以下内容：网站服务内容介绍：包含网站内容截图或设计图、网站栏目及内容介绍、多网站（或域名）用途和域名扩展使用情况。组网方案：包含设备配置、组网结构、使用技术及部署情况。网络安全与信息安全管理制度：包含网络安全防御措施、信息安全管控制度和应急处理方案。承诺：如备案成功后被发现主体信息有误、网站实际开办内容与备案信息不一致、域名有交易行为、网站内容涉及九不准等违法违规问题，自愿接受接入服务商关闭网站、主管部门注销备案并列入黑名单的处罚。需网站负责人签字、盖公章。网站备案承诺书河南根据管局退回意见提供网站备案承诺书。准备好ICP备案所需要的资料后，备案流程请参见ICP备案流程概述。ICP备案主体为企业或组织当ICP备案主体为企业或组织时，您需根据情况准备以下基本资料和辅助资料。基本资料必须提供，辅助资料需根据管局要求提供。 基本资料：需准备主办单位证件、主办单位负责人证件和互联网信息服务负责人证件等原件，通过阿里云App拍照上传。 主办单位证件营业执照等主办单位的资质证件材料。 重要 当主办单位为律师事务所时，上传的主办单位证件需为律师事务所执业许可证副本原件（包含副本首页、登记事项页、变更登记页、年检页）的电子材料，如原件彩色拍照照片。主办单位负责人（主体负责人）证件部分省份管局要求主体负责人必须为法定代表人，您可在各地区管局ICP备案规则中查看各省市管局的具体要求，并根据法定代表人身份提供对应的证件材料。 主体负责人身份可用证件中国内地居民身份证中国香港、中国澳门居民港澳居民居住证或港澳居民来往内地通行证中国台湾居民台湾居民居住证或台湾居民来往大陆通行证其他国际和地区居民护照互联网信息服务负责人证件 互联网信息服务负责人默认同步主体负责人的资料，如果企业的互联网信息服务负责人与主体负责人不是同一人，则需要另外准备互联网信息服务负责人的证件材料。 互联网信息服务负责人身份可用证件中国内地居民身份证中国香港、中国澳门居民港澳居民居住证或港澳居民来往内地通行证中国台湾居民台湾居民居住证或台湾居民来往大陆通行证其他国家和地区居民护照辅助资料：根据各管局要求，不同ICP备案场景可能需要准备部分辅助资料用于ICP备案申请。 辅助资料类型适用场景下载授权书部分省市管局要求，当主体负责人或互联网信息服务负责人不是公司的法定代表人时，需提供主体负责人或互联网信息服务负责人授权书。 详细信息请参见授权书。域名证书部分省份管局要求提供，您可在各地区管局ICP备案规则中单击对应省份链接，查看各省市管局ICP备案规则。 获取域名证书请参见域名证书。手持单位证件照片单位进行ICP备案时，部分省市管局要求上传互联网信息服务负责人手持单位证件照片，如手持营业执照等。 详细信息请参见手持单位证件照片。互联网信息服务进行ICP备案域名注册人的证明部分省市管局要求域名必须在单位名下，个人名下的域名需提供互联网信息服务备案域名注册人的证明。 详细信息请参见有关网站ICP备案域名注册人的证明。编办证明部分省份（云南、内蒙、黑龙江、江西）管局要求事业单位和政府机关申请ICP备案时，需提供上级部门颁发的编办证明。 详细信息请参见编办证明。变更证明备案主体为企业时，如果企业名称发生变更，此种场景下ICP备案时需要提供对应省份工商行政管理部门颁发的变更证明。 详细信息请参见变更证明。网站建设方案书广东省管局要求，如果ICP备案主体下域名过多，需提供网站建设方案书。 湖南省管局要求，有主体新增备案和无主体新增备案时，需提供本次备案域名的网站建设方案书。详细信息请参见网站建设方案书。暂住证或居住证部分省份，例如福建，当ICP备案申请人的身份证户籍地与申请ICP备案的省份不一致时，需要提供暂住证或居住证的电子材料，如原件彩色拍照照片。经营性说明书四川省单位备案，如果单位名称、经营范围、网站名称、网站备注等含有经营性字样，在办理经营性ICP许可证时，被当地管局告知无需办理，您需要在ICP备案过程中需提供单位的经营性说明书。 详细信息请参见经营性说明书。组网方案建设书有主体新增备案和无主体新增备案时，若您的备案包括网站，需提供本次备案域名的组网方案建设书，组网方案建设书内容需包含以下内容：网站内容介绍：包含网站内容截图或设计图、网站栏目及内容介绍、多网站（或域名）用途和域名扩展使用情况。组网方案：包含设备配置、组网结构、使用技术及部署情况。网络安全与信息安全管理制度：包含网络安全防御措施、信息安全管控制度和应急处理方案。承诺：如备案成功后被发现主体信息有误、网站实际开办内容与备案信息不一致、域名有交易行为、网站内容涉及九不准等违法违规问题，自愿接受接入服务商关闭网站、主管部门注销备案并列入黑名单的处罚。需网站负责人签字、盖公章。网站备案承诺书河南个体户，单位名称中含有“商贸、百货、服务部”等字样要求提供网站备案承诺书。准备好ICP备案所需要的资料后，备案流程请参见ICP备案流程概述。资料要求您可参照如下上传资料的要求，准备ICP备案所需的相关资料（如主体证件、身份证件、前置审批、相关证明、授权书等），避免因资料格式不合格被初审驳回。ICP备案所需资料请参见ICP备案所需资料。基本要求大小：每张图片大小应在200 KB~4 MB之间，如超过规定范围可使用第三方图片工具调整资料文件大小。格式：上传图片仅支持JPG、JPEG、PNG、GIF格式。如您的文件格式非规定格式，请勿直接更改格式后缀，您可使用第三方工具打开图片后另存为规定格式。重要 如您上传的图片格式、大小均符合要求但系统仍提示上传失败，您可尝试将阿里云App更新至最新版本并切换网络类型（例如从无线网络切换至移动网络），完成后重启阿里云App并重新上传资料图片。您需将身份证正反面合并在一张图片进行上传。可用性要求清晰度及完整性：为避免图片本身模糊或上传后系统压缩图片导致模糊，请在确保图片内信息清晰可见的情况下尽可能减少图片文件的大小。资料类型：请上传最新的证件原件拍照或彩色扫描的照片（包含完整边框）。请勿上传复印件照片、黑白扫描件、证件翻拍照片（如拍摄显示器显示的电子版证件照片）、电子证件和二次扫描照片。说明 您提交的ICP备案资料必须为最新版。如ICP备案的主体资料信息已发生变更，请您提供变更后最新的资料，否则您的备案订单将被初审驳回。律师事务所执业许可证副本原件中所包含的副本首页、登记事项页、变更登记页、年检页可拼接一起后拍照上传至主办单位证件照位置。时效要求证件有效期（如身份证、单位营业执照等）：自提交ICP备案单订单当日起至ICP备案证件有效期截止日期之间应大于或等于3个月。授权书及证明有效期（如网站负责人授权书、变更证明等）：全国所有省市办理的授权书及相关证明，自办理日起至ICP备案信息提交日期之间应小于或等于3个月。重要 四川省ICP备案单位办理的工作证明与湖南省ICP备案单位办理的域名证书，自办理日起至ICP备案信息提交日期之间应小于或等于45天。湖北省ICP备案单位办理的经营性说明书与河北省ICP备案单位办理的授权书，自办理日起至ICP备案信息提交日期之间应小于或等于6个月。

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